采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
●驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台，适用于在显微镜下微动。
●推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。选购测量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等，可方便地构建位置控制系统。
●是各种显微镜，精密测量装置，半导体检测装置，高精度曝光，扫描型干涉仪，图像处理装置，或相关生物用装置的优质选择。
| 型号 | 行程(开环控制时)(μm) | 台面尺寸(mm) | 驱动机构 | 理论分辨率(开环时)(nm) | 分辨率(闭环时)(nm) | 对比 | 单价 | 发货日期 | 购物车 | ||||||||||||||||||||||||||
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SFS-120XY(WA) |
100±10％ | 120×120 | 压电陶瓷 | 1 | 10 |
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会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||
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中空型XY压电陶瓷平台(停产) /SFS-120XY(WA)
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