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中空型XY压电陶瓷平台

说明

采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

产地：日本

产品介绍

产品描述

●驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台，适用于在显微镜下微动。
●推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。选购测量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等，可方便地构建位置控制系统。
●是各种显微镜，精密测量装置，半导体检测装置，高精度曝光，扫描型干涉仪，图像处理装置，或相关生物用装置的优质选择。

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SFS-120XY(WA)

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中空型XY压电陶瓷平台 /SFS-120XY(WA)

行程(μm)（开环控制时）	100±10％	台面尺寸(mm)	120×120
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	1.2
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差	-	垂直度(μm)（水平方向）	＜1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力(N)	19.6（2.0kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 DS1-CA-3：数字位移传感器用