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压电陶瓷物镜驱动器

说明

驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，可以用于显微镜的物镜驱动。

产地：日本

产品介绍

产品描述

●尺寸小，可进行高速高分辨率定位。
●开环控制时的行程为100μm。和开环控制相比，闭环控制时的行程(max)会少20%左右。
●考虑到显微镜的种类，我们备有2种用于正立型和1种用于倒立型显微镜的标准产品。
●和其他压电陶瓷平台类似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）实现驱动。
它们具有RS232C，GP-IB（仅FINE-503(CL)），USB接口，配合计量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可简单地构建控制需要的系统。

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SFS-OBL-1

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压电陶瓷物镜驱动器 /SFS-OBL-1

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	最大可安装物镜直径(mm)	外径φ39以下
外形尺寸(mm)	W75.5×H45×D40	驱动机构	压电陶瓷
自重(kg)	0.15	理论分辨率(nm)（开环时）	1
分辨率(nm)（闭环时）	10	真直度(μm)（XyXzYxYz）	＜1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力(N)	-
微小位移传感器	数字位移传感器	螺纹适配器	OBL-ADP-＊＊
适用电缆	电缆（2m）

SFS-OBL-2

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压电陶瓷物镜驱动器 /SFS-OBL-2

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	最大可安装物镜直径(mm)	外径φ39以下
外形尺寸(mm)	W75.5×H45×D40	驱动机构	压电陶瓷
自重(kg)	0.24	理论分辨率(nm)（开环时）	1
分辨率(nm)（闭环时）	10	真直度(μm)（XyXzYxYz）	＜1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力(N)	-
微小位移传感器	数字位移传感器	螺纹适配器	OBL-ADP-＊＊
适用电缆	电缆（2m）

SFAI-OBL-1R

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压电陶瓷物镜驱动器 /SFAI-OBL-1R

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	最大可安装物镜直径(mm)	外径φ39以下
外形尺寸(mm)	W60.8×H30×D40	驱动机构	压电陶瓷
自重(kg)	0.15	理论分辨率(nm)（开环时）	≈0.8
分辨率(nm)（闭环时）	10	真直度(μm)（XyXzYxYz）	＜0.2
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力(N)	4.9（0.5kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	螺纹适配器	OBL-ADP3-＊＊
适用电缆	电缆（2m），专用安装支柱4个