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西格玛精密平台（压电陶瓷）

说明

采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

产地：日本

产品介绍

产品描述

●采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
●采用压电陶瓷作为驱动机构，环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。和开环控制相比，闭环控制时的行程(max)会少20%左右。
●位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
●使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
●重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。

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SFS-H40X(CL)

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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H40X(CL)

行程(μm)（开环控制时）	90±15％	台面尺寸(mm)	40×40
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	0.28
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差(％)	＜0.3	垂直度(μm)（水平方向）	1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力()	9.8（1.0kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	电缆（2m）附属

SFS-H40Z(CL)

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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H40Z(CL)

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	台面尺寸(mm)	40×40
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	0.28
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差(％)	＜0.3	垂直度(μm)（水平方向）	1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力()	6.7（0.7kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	电缆（2m）附属

SFS-H60X(CL)

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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60X(CL)

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	台面尺寸(mm)	60×60
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	0.4
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差(％)	＜0.3	垂直度(μm)（水平方向）	1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力()	19.6（2.0kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 DS1-CA-3：数字位移传感器用

SFS-H60XY(CL)

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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60XY(CL)

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	台面尺寸(mm)	60×60
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	0.43
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差(％)	＜0.3	垂直度(μm)（水平方向）	1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力()	14.7（1.5kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 DS1-CA-3：数字位移传感器用

SFS-H60Z(CL)

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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60Z(CL)

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	台面尺寸(mm)	60×60
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	0.33
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差(％)	＜0.3	垂直度(μm)（水平方向）	1
重复定位精度(μm)	＜0.1	承载能力()	9.8（1.0kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 DS1-CA-3：数字位移传感器用

SFS-H60XYZ(CL)

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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60XYZ(CL)

行程(μm)（开环控制时）	100±15％	台面尺寸(mm)	60×60
驱动机构	压电陶瓷	自重(kg)	0.63
理论分辨率(nm)（开环时）	1	分辨率(nm)（闭环时）	10
直线性误差(％)	＜0.5	垂直度(μm)（水平方向）	1
重复定位精度(μm)	＜0.15	承载能力()	9.8（1.0kgf）
微小位移传感器	数字位移传感器	适用电缆	FINE-CA-3：压电陶瓷平台用 DS1-CA-3：数字位移传感器用