采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
●采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
●采用压电陶瓷作为驱动机构，环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。和开环控制相比，闭环控制时的行程(max)会少20%左右。
●位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
●使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
●重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。使用FINE-01γ的 模拟信号驱动时，可达25Hz。
| 型号 | 行程(μm)（开环控制时） | 台面尺寸(mm) | 驱动机构 | 理论分辨率(nm)（开环时） | 分辨率(nm)（闭环时） | 对比 | 单价 | 发货日期 | 购物车 | ||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SFS-H40X(CL) |
90±15％ | 40×40 | 压电陶瓷 | 1 | 10 | 会员可见 | 咨询 | ||||||||||||||||||||||||||||
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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H40X(CL)
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SFS-H40Z(CL) |
100±15％ | 40×40 | 压电陶瓷 | 1 | 10 | 会员可见 | 咨询 | ||||||||||||||||||||||||||||
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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H40Z(CL)
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SFS-H60X(CL) |
100±15％ | 60×60 | 压电陶瓷 | 1 | 10 | 会员可见 | 咨询 | ||||||||||||||||||||||||||||
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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60X(CL)
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SFS-H60XY(CL) |
100±15％ | 60×60 | 压电陶瓷 | 1 | 10 | 会员可见 | 咨询 | ||||||||||||||||||||||||||||
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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60XY(CL)
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SFS-H60Z(CL) |
100±15％ | 60×60 | 压电陶瓷 | 1 | 10 | 会员可见 | 咨询 | ||||||||||||||||||||||||||||
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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60Z(CL)
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SFS-H60XYZ(CL) |
100±15％ | 60×60 | 压电陶瓷 | 1 | 10 | 会员可见 | 咨询 | ||||||||||||||||||||||||||||
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西格玛精密平台（压电陶瓷） /SFS-H60XYZ(CL)
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