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Z轴垂直不锈钢滑台

说明

与TSD系列具有相同的结构和性能，适合在超净室或真空环境使用的直动平台。
全部使用不锈钢材料，耐腐蚀性能优良。
平台本体和微分头都使用真空用润滑油脂（YVAC2）。

产地：日本
产品介绍
产品描述
通用指标
导轨形式 TSD导轨
主要材料 不锈钢
表面处理 无
型号 台面尺寸mm 行程(mm) 移动精度/直线度(μm) 移动平行度(μm) 承载能力(N) 对比 单价 发货日期 购物车
TSDS-253L
25×25 ±3 1 20 14.7（1.5kgf）
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Z轴垂直不锈钢滑台 /TSDS-253L
台面尺寸mm 25×25 行程(mm) ±3
行程/周(mm) 0.5 微分头读数(mm) 0.01
承载能力(N) 14.7（1.5kgf） 移动精度/直线度(μm) 1
最大承载力矩/俯仰(N･m) 2.2 最大承载力矩/转动(N･m) 2.2
扭矩刚度/俯仰(″/N･cm) 3.3 平行度(μm) 30
移动平行度(μm) 20 自重(kg) 0.1
TSDS-403L
40×40 ±6.5 1 20 49（5.0kgf）
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Z轴垂直不锈钢滑台 /TSDS-403L
台面尺寸mm 40×40 行程(mm) ±6.5
行程/周(mm) 0.5 微分头读数(mm) 0.01
承载能力(N) 49（5.0kgf） 移动精度/直线度(μm) 1
最大承载力矩/俯仰(N･m) 5 最大承载力矩/转动(N･m) 5
扭矩刚度/俯仰(″/N･cm) 0.6 平行度(μm) 30
移动平行度(μm) 20 自重(kg) 0.3
TSDS-403LUU
40×40 ±6.5 1 20 49（5.0kgf）
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Z轴垂直不锈钢滑台 /TSDS-403LUU
台面尺寸mm 40×40 行程(mm) ±6.5
行程/周(mm) 0.5 微分头读数(mm) 0.01
承载能力(N) 49（5.0kgf） 移动精度/直线度(μm) 1
最大承载力矩/俯仰(N･m) 5 最大承载力矩/转动(N･m) 5
扭矩刚度/俯仰(″/N･cm) 0.6 平行度(μm) 30
移动平行度(μm) 20 自重(kg) 0.3
TSDS-603L
60×60 ±6.5 1 20 49（5.0kgf）
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Z轴垂直不锈钢滑台 /TSDS-603L
台面尺寸mm 60×60 行程(mm) ±6.5
行程/周(mm) 0.5 微分头读数(mm) 0.01
承载能力(N) 49（5.0kgf） 移动精度/直线度(μm) 1
最大承载力矩/俯仰(N･m) 8 最大承载力矩/转动(N･m) 8
扭矩刚度/俯仰(″/N･cm) 0.25 平行度(μm) 30
移动平行度(μm) 20 自重(kg) 0.8
TSDS-653L-M6
65×65 ±6.5 1 20 49（5.0kgf）
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Z轴垂直不锈钢滑台 /TSDS-653L-M6
台面尺寸mm 65×65 行程(mm) ±6.5
行程/周(mm) 0.5 微分头读数(mm) 0.01
承载能力(N) 49（5.0kgf） 移动精度/直线度(μm) 1
最大承载力矩/俯仰(N･m) 8 最大承载力矩/转动(N･m) 8
扭矩刚度/俯仰(″/N･cm) 0.25 平行度(μm) 30
移动平行度(μm) 20 自重(kg) 0.9
TSDS-653LUU
65×65 ±6.5 1 20 49（5.0kgf）
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Z轴垂直不锈钢滑台 /TSDS-653LUU
台面尺寸mm 65×65 行程(mm) ±6.5
行程/周(mm) 0.5 微分头读数(mm) 0.01
承载能力(N) 49（5.0kgf） 移动精度/直线度(μm) 1
最大承载力矩/俯仰(N･m) 8 最大承载力矩/转动(N･m) 8
扭矩刚度/俯仰(″/N･cm) 0.25 平行度(μm) 30
移动平行度(μm) 20 自重(kg) 0.9
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