这是测试样品面精度的，常用的干涉仪之一。
●利用反射镜的2个垂直光路构造是其显著的特点。 干涉条纹反映了2个反射镜镜面形状的差异。
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IFS2-MI-25 |
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迈克尔逊干涉仪 IFS2-MI-25 /IFS2-MI-25
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