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内置光栅尺X轴自动平台

说明

在TAMM系列(十字交叉滚柱导轨型铝合金自动平台)以及X轴超小型5相步进电机自动平台(OSCM25-10X)的基础上,加装光栅尺实现闭环控制的X轴自动平台。
根据光栅尺的读数实现位置反馈提高了定位精度,比开环驱动平台的精度更高,定位更可靠。

产地:日本
产品介绍
产品描述

·光栅尺输出信号的分辨率为10 nm,方便实现高分辨率的定位。

·利用光栅尺实现反馈控制,方便实现可靠的高精度定位。

·台面尺寸分别为25 mm,40 mm和60 mm,非常适用于小型高精度的定位。



注意

·工作环境温度变化要小。(推荐使用温度范围:23±1℃)

·使用环境的振动要小。或者说,请做好防振措施。

·不要用于含油雾等的空气环境。否则容易污染光栅尺导致出错。

·假如工件的尺寸比自动平台的台面还大的话,请来信咨询有关使用技术问题。

传感器参数
传感器型号 TAMM(GS):微型光电传感器: GP1S097HCZ ( 夏普㈱ ) OSCM(GS):微型光电传感器: GP1S092HCPIF ( 夏普㈱ )
极限位置传感器 有 ( 常闭 )
原点传感器 TAMM(GS):有 ( 常开 ) OSCM(GS):无
近接原点传感器
传感器 电源电压 DC 5~24 V±10%
传感器 消耗电流 TAMM(GS):60 mA以下 ( 单个传感器20 mA以下 ) OSCM(GS):40 mA以下 ( 单个传感器20 mA以下 )
传感器 输出端电气特性 NPN集电极开路输出 DC 30 V以下 50 mA以下
传感器 信号的含义 TAMM(GS):遮光时: 输出晶体管OFF ( 截止 ): 极限位置传感器 遮光时: 输出晶体管ON ( 导通 ): 原点传感器 OSCM(GS):遮光时: 输出晶体管OFF ( 截止 ): 极限位置传感器
电机参数
电机 类型 TAMM(GS):5相步进电机 0.75A/相 ( ORIENTAL MOTOR㈱ ) OSCM(GS):5相步进电机 0.35A/相 ( ORIENTAL MOTOR㈱ )
电机 型号 TAMM(GS):PKP523HPB-C12 ( □28 mm ) OSCM(GS):PK513PB-C9(□20mm)
电机 步距角 0.72°
型号 台面尺寸(mm) 行程(mm) 定位精度(μm) 重复定位精度(μm) 光栅尺分辨率(nm) 承载能力(N) 对比 单价 发货日期 购物车
OSCM(GS)25-10X
25×25 10 6 1 10 19.6 ( 2.0 kgf )
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内置光栅尺X轴自动平台 /OSCM(GS)25-10X
行程(mm) 10 台面尺寸(mm) 25×25
丝杠(mm) 滚珠丝杠直径 φ 3、导程 1 导轨形式 十字交叉滚柱
主要材料 钢材 表面处理 黑铬
自重(kg) 0.4 分辨率(整步/半步)[μm/脉冲] 2/1
最小位移量(nm)(参考数据) 30 最大速度(mm/sec) 10
定位精度(μm) 6 重复定位精度(μm) 1
承载能力(N) 19.6 ( 2.0 kgf ) 扭矩刚度/俯仰(″/N・cm) 10
扭矩刚度/偏摆(″/N・cm) 10 扭矩刚度/转动(″/N・cm) 5
空行程(μm) 2 传动副间隙(μm) 1
平行度(μm) 30 运动平行度(μm) 10
俯仰(″) 100 偏摆(″) 50
光栅尺分辨率(nm) 10
内置光栅尺X轴自动平台
OSCM(GS)25-10X
¥ 19696.44
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TAMM(GS)40-10C
40×40 10 3 0.5 10 29.4 ( 3.0 kgf )
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内置光栅尺X轴自动平台 /TAMM(GS)40-10C
行程(mm) 10 台面尺寸(mm) 40×40
丝杠(mm) 滚珠丝杠直径 φ 4、导程 1 导轨形式 十字交叉滚柱
主要材料 铝合金 表面处理 黑色氧化
自重(kg) 0.55 分辨率(整步/半步)[μm/脉冲] 2/1
最小位移量(nm)(参考数据) 30 最大速度(mm/sec) 10
定位精度(μm) 3 重复定位精度(μm) 0.5
承载能力(N) 29.4 ( 3.0 kgf ) 扭矩刚度/俯仰(″/N・cm) 1.5
空行程(μm) 0.5 传动副间隙(μm) 1
平行度(μm) 30 运动平行度(μm) 10
俯仰(″) 25 偏摆(″) 25
光栅尺分辨率(nm) 10
TAMM(GS)60-15C
60×60 15 3 0.5 10 49 ( 5.0 kgf )
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内置光栅尺X轴自动平台 /TAMM(GS)60-15C
行程(mm) 15 台面尺寸(mm) 60×60
丝杠(mm) 滚珠丝杠直径 φ 6、导程 1 导轨形式 十字交叉滚柱
主要材料 铝合金 表面处理 黑色氧化
自重(kg) 0.7 分辨率(整步/半步)[μm/脉冲] 2/1
最小位移量(nm)(参考数据) 30 最大速度(mm/sec) 10
定位精度(μm) 3 重复定位精度(μm) 0.5
承载能力(N) 49 ( 5.0 kgf ) 扭矩刚度/俯仰(″/N・cm) 0.5
空行程(μm) 0.5 传动副间隙(μm) 1
平行度(μm) 30 运动平行度(μm) 10
俯仰(″) 20 偏摆(″) 20
光栅尺分辨率(nm) 10
TAMM(GS)100-50C
100×100 50 3 0.5 10 98 ( 10.0 kgf )
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内置光栅尺X轴自动平台 /TAMM(GS)100-50C
行程(mm) 50 台面尺寸(mm) 100×100
丝杠(mm) 滚珠丝杠直径 φ 8、导程 1 导轨形式 十字交叉滚柱
主要材料 铝合金 表面处理 黑色氧化
自重(kg) 2.3 分辨率(整步/半步)[μm/脉冲] 2/1
最小位移量(nm)(参考数据) 30 最大速度(mm/sec) 10
定位精度(μm) 3 重复定位精度(μm) 0.5
承载能力(N) 98 ( 10.0 kgf ) 扭矩刚度/俯仰(″/N・cm) 0.05
空行程(μm) 0.5 传动副间隙(μm) 1
平行度(μm) 30 运动平行度(μm) 10
俯仰(″) 20 偏摆(″) 15
光栅尺分辨率(nm) 10
内置光栅尺X轴自动平台
TAMM(GS)100-50C
¥ 23906.28
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TAMM(GS)100-100C
100×175 100 5 0.5 10 98 ( 10.0 kgf )
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内置光栅尺X轴自动平台 /TAMM(GS)100-100C
行程(mm) 100 台面尺寸(mm) 100×175
丝杠(mm) 滚珠丝杠直径 φ 8、导程 1 导轨形式 十字交叉滚柱
主要材料 铝合金 表面处理 黑色氧化
自重(kg) 3.35 分辨率(整步/半步)[μm/脉冲] 2/1
最小位移量(nm)(参考数据) 30 最大速度(mm/sec) 10
定位精度(μm) 5 重复定位精度(μm) 0.5
承载能力(N) 98 ( 10.0 kgf ) 扭矩刚度/俯仰(″/N・cm) 0.03
空行程(μm) 0.5 传动副间隙(μm) 1
平行度(μm) 30 运动平行度(μm) 10
俯仰(″) 20 偏摆(″) 15
光栅尺分辨率(nm) 10
内置光栅尺X轴自动平台
TAMM(GS)100-100C
¥ 25655.52
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