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10nm分辨率闭环控制电动位移台

说明

使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。
10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。

由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。
从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。
提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

产地：日本

产品介绍

产品描述

信息

控制器请选用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

注意

●请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）
●请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。
●请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。
●如需安装大于台面尺寸的工件，请向我们咨询。

通用指标

光栅尺分辨率	10nm
最小位移量(参考数据)	30nm
主体材料	铝合金
表面处理	黑色氧化
导轨形式	十字交叉滚柱导轨
※1	连接到SHRC控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。
※2	启用多点纠错功能时的数值。
※3	在微小范围内进行重复定位精度测量（ISO）所得到的结果#NFS-PX系列10nm闭环控制平台测量步长（间距）：50nm

型号

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NFS60-20PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS60-20PX

行程(mm)	20	台面尺寸(mm)	75x60
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ4、导程1	分辨率(μm/脉冲)（整步）	2 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	1 ※1	最大速度(mm/sec)	10
定位精度(μm)	1 ※2	重复定位精度(μm)	0.5 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.5
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.5	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.5
空行程(μm)	0.5	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	50	运动平行度(μm)	10
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
承载能力(N)	49（5.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.35A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK523PMB-C5(□28)	自重(kg)	0.5

NFS60-40PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS60-40PX

行程(mm)	40	台面尺寸(mm)	110x60
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ4、导程1	分辨率(μm/脉冲)（整步）	2 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	1 ※1	最大速度(mm/sec)	10
定位精度(μm)	1 ※2	重复定位精度(μm)	0.5 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.5
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.5	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.5
空行程(μm)	0.5	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	50	运动平行度(μm)	10
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
承载能力(N)	49（5.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.35A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK523PMB-C5(□28)	自重(kg)	1

NFS100-50PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS100-50PX

行程(mm)	50	台面尺寸(mm)	100x100
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	分辨率(μm/脉冲)（整步）	2 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	1 ※1	最大速度(mm/sec)	10
定位精度(μm)	1 ※2	重复定位精度(μm)	0.5 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
空行程(μm)	0.5	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	50	运动平行度(μm)	10
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
承载能力(N)	98（10.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK545NBW(□42)	自重(kg)	2.7

NFS100-100PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS100-100PX

行程(mm)	100	台面尺寸(mm)	175x100
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	分辨率(μm/脉冲)（整步）	2 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	1 ※1	最大速度(mm/sec)	10
定位精度(μm)	2 ※2	重复定位精度(μm)	0.5 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
空行程(μm)	0.5	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	50	运动平行度(μm)	10
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
承载能力(N)	98（10.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK545NBW(□42)	自重(kg)	3.7

NFS120-50PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS120-50PX

行程(mm)	50	台面尺寸(mm)	120x120
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	分辨率(μm/脉冲)（整步）	2 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	1 ※1	最大速度(mm/sec)	10
定位精度(μm)	1 ※2	重复定位精度(μm)	0.5 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
空行程(μm)	0.5	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	50	运动平行度(μm)	10
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
承载能力(N)	98（10.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK545NBW(□42)	自重(kg)	3

NFS120-100PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS120-100PX

行程(mm)	100	台面尺寸(mm)	175x120
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ8、导程1	分辨率(μm/脉冲)（整步）	2 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	1 ※1	最大速度(mm/sec)	10
定位精度(μm)	2 ※2	重复定位精度(μm)	0.5 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.05
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.05	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.05
空行程(μm)	0.5	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	50	运动平行度(μm)	10
俯仰(″)	15	偏摆(″)	15
承载能力(N)	98（10.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK545NBW(□42)	自重(kg)	4

NFS180-200PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS180-200PX

行程(mm)	200	台面尺寸(mm)	230x180
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ10、导程2	分辨率(μm/脉冲)（整步）	4 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	2 ※1	最大速度(mm/sec)	20
定位精度(μm)	2 ※2	重复定位精度(μm)	0.6 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.02
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.02	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.02
空行程(μm)	0.6	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	100	运动平行度(μm)	20
俯仰(″)	20	偏摆(″)	20
承载能力(N)	196（20.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK545NBW(□42)	自重(kg)	13.2

NFS180-300PX

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10nm分辨率闭环控制电动位移台 /NFS180-300PX

行程(mm)	300	台面尺寸(mm)	330x180
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ10、导程2	分辨率(μm/脉冲)（整步）	4 ※1
分辨率(μm/脉冲)（半步）	2 ※1	最大速度(mm/sec)	20
定位精度(μm)	2 ※2	重复定位精度(μm)	0.6 ※2
微小范围双方向重复定位精度(nm)	±20 ※3	扭矩刚度/俯仰(″/N･cm)	0.02
扭矩刚度/偏摆(″/N･cm)	0.02	扭矩刚度/转动(″/N･cm)	0.02
空行程(μm)	0.6	传动副间隙(μm)	1
平行度(μm)	100	运动平行度(μm)	20
俯仰(″)	20	偏摆(″)	20
承载能力(N)	196（20.0kgf）	电机类型	5相步进电机 0.75A/相(ORIENTAL MOTOR㈱)
电机型号	PK545NBW(□42)	自重(kg)	17