芬创商城 > 产品中心 > 自动滑台 > 光栅尺电控滑台 > 光栅尺滑台 > XY轴1nm分辨率闭环控制电动位移台

XY轴1nm分辨率闭环控制电动位移台

说明

可实现1nm分辨率定位的闭环控制平台。
相对高扭矩的FS-SPX系列而言，FS-UPX系列更适合高速的运动。
在平台中央位置内置了西格玛光机开发的光栅尺位置检测系统。读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度。
备有2个不同行程规格（20mm，50mm）的产品。

产地：日本

产品介绍

产品描述

●适用于常规大气环境，另有对应的真空环境专用产品。
●最大移动行程量可以达到50mm。
●配合专用控制器FC-911。
●可以设置作为Z轴使用，但是如果想避免自重掉落的话，推荐高扭矩型SPX(MD)系列。

型号

对比

单价

发货日期

购物车

FS-1020UPXY

会员可见

咨询

加入购物车

XY轴1nm分辨率闭环控制电动位移台 /FS-1020UPXY

行程(mm)	X:20 Y:20	台面尺寸(mm)	60×60
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ6、导程1	主要材料	铝合金
表面处理	黑色氧化	自重(kg)	1.4
最小分辨率(nm)	1	重复定位精度(nm)	±2
移动平行度(μm)	10	移动最大速度(mm/sec)	5
承载能力(N)	39.2（4.0kgf）	极限位置传感器	有
原点传感器	无	近接原点传感器	无
内置线缆(m)	2	信号周期(μm)	2

FS-1050UPXY

会员可见

咨询

加入购物车

XY轴1nm分辨率闭环控制电动位移台 /FS-1050UPXY

行程(mm)	X:50 Y:50	台面尺寸(mm)	120×120
丝杠(mm)	滚珠丝杠直径φ6、导程1	主要材料	铝合金
表面处理	黑色氧化	自重(kg)	3.6
最小分辨率(nm)	1	重复定位精度(nm)	±2
移动平行度(μm)	10	移动最大速度(mm/sec)	5
承载能力(N)	78.4（8.0kgf）	极限位置传感器	有
原点传感器	无	近接原点传感器	无
内置线缆(m)	2	信号周期(μm)	2