可实现5nm分辨率定位的闭环控制平台。在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。 读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度。备有2个不同行程规格（20mm，50mm）的产品。
●适用于常规大气环境，另有对应的真空环境专用产品。
●最大移动行程量可以达到20mm。
●配合专用控制器FC-611。
●可以设置作为Z轴使用，但是如果想避免自重掉落的话，推荐高扭矩型SPX(MD)系列。
| 型号 | 台面尺寸(mm) | 行程(mm) | 最小分辨率(nm) | 重复定位精度(nm) | 移动平行度(μm) | 承载能力(N) | 对比 | 单价 | 发货日期 | 购物车 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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FS-1020SPX |
60×60 | 20 | 1 | 2 | 10 | 49（5.0kgf） | 会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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X轴5nm分辨率闭环控制电动位移台 /FS-1020SPX
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FS-1050SPX |
120×120 | 50 | 1 | 2 | 10 | 98（10.0kgf） | 会员可见 | 咨询 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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X轴5nm分辨率闭环控制电动位移台 /FS-1050SPX
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