与TSD系列具有相同的结构和性能,适合在超净室或真空环境使用的直动平台。 全部使用不锈钢材料,耐腐蚀性能优良。 平台本体和微分头都使用真空用润滑油脂(YVAC2)。
不锈钢
无
TSD导轨
外形图:
■TSDS-255CL ■TSDS-255SL
■TSDS-405CL/405CLUU ■TSDS-405SL/405SLUU
■TSDS-605CL ■TSDS-605SL
■TSDS-655CL-M6/655CLUU ■TSDS-655SL-M6/655SLUU
25×25mm
中心
X轴:±3mm Z轴:±3mm
0.5mm
0.01mm
14.7N(1.5kgf)
1μm
2.2N・m
6.7″/N・cm
0.2kg
侧面
40×40mm
X轴:±6.5mm Z轴:±6.5mm
49N(5.0kgf)
3.9N・m
1.26″/N・cm
0.6kg
60×60mm
8.0N・m
0.58″/N・cm
1.7kg
65×65mm
2.0kg
XYZ轴垂直不锈钢滑台
XYZ轴平面不锈钢滑台
XZ轴垂直不锈钢滑台
XZ轴平面不锈钢滑台
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